在真空泵运行过程中，转子表面涂层的防腐蚀性能直接影响设备寿命与运行效率。选择涂层材料时，需综合考虑化学稳定性、机械强度及热匹配性三大核心指标。
 

‌化学惰性优先原则‌

高纯度陶瓷涂层(如Al?O?、ZrO?)因其稳定的晶格结构，能有效抵抗酸性介质侵蚀。其中，氧化钇稳定氧化锆(YSZ)通过氧离子空位迁移机制，可在动态腐蚀环境中形成自修复屏障，适合强腐蚀工况。
 

‌机械-热耦合设计‌

涂层的硬度与基体热膨胀系数必须精准匹配。CrN基涂层通过纳米多层结构实现HV2800以上的硬度，同时其8.5×10??/℃的热膨胀系数与多数合金转子兼容，可避免热循环导致的涂层剥落。
 

‌表面能调控技术‌

最新研究表明，超疏水改性涂层能降低介质附着率，使腐蚀速率下降40%以上。通过等离子体辅助化学气相沉积(PACVD)制备的类金刚石碳膜(DLC)，兼具低表面能和化学惰性双重优势，代表未来技术方向。
 

科学选材需建立“腐蚀机理-材料特性-工艺成本”三维评估模型，而非简单对比参数表。行业正从经验选型向计算材料学辅助决策转型，这对设备工程师提出了更高要求。